946

Analysis of a Microelectromechanical (MEMS) Capacitive accelerometer for Improvment Sensitivity.

كارشناسي ارشد

مكانيك

تهران شمال

1397

97/10/30

18

114ص.

درويشي،محمد مهدي

Mems, Lithography , Micro machining , Accelerometer

در اين پايان نامه به موضوع بهبود حساسيت مكانيكي در يك شتاب سنج خازني شانه اي توليد شده به روش ميكروماشين كاري پرداخته شده است. در ابتدابه بررسي موضوع ممز وروشهاي توليد در ممز ،انواع شتاب سنجهاي امروزي وكاربردهايشان پرداخته شده است. سپس با بررسي منابع مختلف روابط رياضي ومعادلات حاكم برآن استخراج شده اند.حساسيت واستحكام مكانيكي در يك شتاب سنج رابطه معكوس دارند كه طراح بايد انتخاب مناسبي بين اين دوانجام دهد.حساسيت رامي توان به طور خلاصه وابسته به جرم قسمت متحرك شتاب سنج(جرم محك) وسختي فنري تكيه گاه انتهايي دانست.هرچه جرم محك بيشتر باشد حساسيت بيشتر مي شود وهرچه سختي فنري تكيه گاه انتهايي كمتر باشد حساسيت بيشتر مي شود.در اين بررسي ها ساير پارامتر هاي شتاب سنج مثل حداكثر شتاب قابل تحمل وفركانس كاري نيز بايد در نظر گرفته شود.يكي ازپارامترهاي ديگر قابليت خطي بودن است يعني تا چه شرايطي پاسخ شتاب سنج به تحريك ورودي همچنان خطي است كه براي اين منظور خاصيت خطي بودن به درصد بيان مي شود.براساس كاربرد مي توان شتاب سنج خازني مناسبي راطراحي كردولي بيشترين تاثيردررشد شتاب سنج خازني به كارگيري آنها درايربگ خودروها وناوبري بوده است.درطرح پيشنهادي براي بهبود حساسيت، اين دوكاربرد در نظرگرفته شده است.كاهش سختي تيرانتهايي مبناقرارگرفته وباتغيير ديگرپارامترها،محدوده مناسب شتاب قابل تحمل موردنيازنيزحاصل شده است.

59448