1389 4ب2ق 8906 QD

كارشناسي ارشد

شيمي - شيمي فيزيك

دانشگاه پيام نور مركز ساري

1389

89/06/21

87ص

اشرفي ، فريدون - بهاري ، علي

بابانژاد ، سيد احمد

نيتريد تيتانيوم و همچنين اكسيد تيتانيوم در پوشش دهي بسيار مقاوم سطوح ابزار آلات تصفيه ساز و الكترونيكي به كار مي آيد . در كنار آن ، خواص سطح فيلم فرا نازك نسبت به خواص كپه اي آن غالب است و دليل آن هم به چيدمان اتمي روي سطح ، هيبريداسيون كه بيشتر به صورت SP2 است بر مي گردد و از همه مهمتر بايد پيوندهاي كامل نشده و آويزان (dangling bonds) در سطح فيلم اشاره نمود كه با تشكيل پيوند با اتم هاي مهمان نظير اتم هاي تيتانيوم باعث افزايش سختي ، مقاومت در قبال خوردگي ،اكسيداسيون و مقاومت پوششي مي شود .

57021