-
شماره راهنما
8048
-
پديد آورنده
مقدسي ، الناز
-
نويسنده
الناز مقدسي
-
عنوان
بهينه سازي پارامترهاي Plsma etching جهت زدايش لايه هاي Si وSiO2
-
مقطع تحصيلي
كارشناسي ارشد
-
رشته تحصيلي
فيزيك - گرايش حالت جامد
-
محل تحصيل
پيام نور , كتابخانه مركزي دانشگاه پيام نور
-
سال تحصيل
1392
-
مشخصات ظاهري
91ص
-
استاد راهنما
حيدري ثاني ، مهدي
-
استاد مشاور
شكري، علي اصغر
-
كتابنامه
91-90ص
-
توصيفگر فارسي
سيلسيوم ، پلاسما، زدايش خشك ، زدايش تر، نيمه هادي
-
شناسه هاي افزوده
پ مقدسي ، الناز , ع
-
چكيده
نيمه هاديها اساس وپايه صنعت الكترونيك راتشكيل مي دهندوسيلسيوم مهم ترين ماده نيمه هادي است . گسترش روشهاي جديدبراي استفاده ازمنابع انرژي غيرآلاينده يكي ازخواسته هاي مهم جامه بشري است .
-
مندرجات
فصل اول : مروري برمنابع. فصل دوم : رشدزيرلايه توسط روش لايه نشاني بخارشيميايي .)DVC( فصل سوم : زدايش .)gnihctE( فصل چهارم : تميزكاري .)gninaelC( فصل پنجم : نتايج تست ها.
-
تاريخ نمايه سازي
2931/80/72
-
شماره مدرك
8048پ
-
اطلاعات ثبت
1
-
شماره ركورد
21875
-
لينک به اين مدرک :
